产品名称：PST-400CX2/日本ulvac爱发科/ 真空泵 /溅射离子泵/SMT设备/PST-400AX2

PST-400CX2/日本ulvac爱发科/ 真空泵 /溅射离子泵/SMT设备/PST-400AX2

DSMRO0030

溅射离子泵是用于产生超高真空的典型泵之一。它广泛用于分析仪器，加速器等。ULVAC是溅射离子泵
10 -10作为泵，可以在磁场的非常和超高真空区域发展（演员元件）产生帕范围极和单独超高真空，具有增强的排气特性的新设备我们通过优化它开发了“演员泵”。

特点
极·超高真空兼容。通过连接ISO标准测试圆顶实现达到10 -10 Pa 的压力。
稀有气体排出增强型（AX 2型）的排气性能是氩气的两倍。（与我们公司相比）
在超高真空区域实现大的抽速。
在短时间内排出超高真空区域。
极性/超高真空区域具有出色的启动特性。（放电继续超高真空区域）

使用
加速器
电子显微镜
分析仪器

规范
排气速度（再生抽速）
1×10 -7 Pa
N 2： 0.36 m 3 / s（CX 2·AX 2）
AR： 0.04 m 3 / s（
CX 2）0.19 m 3 / s（AX 2）
抵达压力 10 -10 Pa范围
工作压力 <3.0×10 -3 Pa（推荐值）
（大工作压力1×10 -3 Pa）
*使用GST-07L控制器时
内部容量 关于0.014M 3
泵元件数量 CX 2型细胞×4配方·AX 2型细胞×4配方
连接法兰型号 UFC 203
施加电压 DC + 7.5 kV
标准烘烤温度 250°C
块 大约124公斤（带加热器）
外尺寸W×D×H 296×544×376毫米
加热器单元功率要求 单相200 V约800 W

PST-400CX2/日本ulvac爱发科/ 真空泵 /溅射离子泵/SMT设备/PST-400AX2

公司名称 ULVAC公司
ULVAC公司
商标 ULVAC
创建 1952年8月23日
代表： 代表董事兼执行官Iwashita Setsuko总裁
资本 20，873，045，2555日元
员工人数 1,293，合并6,439（截至2018年6月30日）
业务内容 显示器，太阳能电池，半导体，电子电器，金属，机械，汽车，化学，食品和制药工业和真空设备，外围设备，真空组件，开发，制造，销售和客户的载体的材料的大学和实验室 - 进出口机械设备。此外，一般的真空技术研究指导/技术顾问。


我们的公司，我们成立了进口和各种真空设备的销售签署了假设美国NRC设备公司和技术结盟于1952年代理协议的目的。基金会后的主要项目如下。

1952年 八月 成立日本奖励科技有限公司（资本600万）进口和销售各种真空设备。
1955年 四月 成立大森工厂，开始生产国产设备。
1956年 十一月 我们合并了东洋精机真空实验室有限公司，开始生产标准产品，如真空化学设备和真空泵作为尼崎工厂。
1959年 四月 总公司和大森工厂迁至横滨市。
1961年 七月 应用真空技术的基础，开始了真空冶金业务。
1962年 九月 成立真空材料有限公司（商品名改为ULVAC MATERIALS CORPORATION），开始销售耐火材料。
1962年 十月 真空科学与工程（现为·Advance科学与工程有限公司）成立，是一家专业的热分析设备制造商
1963年 十月 虽然被合并到新生产业株式会社（1929年9月20日成立），改名为当日公司名称和ULVAC公司，继续前ULVAC公司的业务。
1964年 一月 外国分公司信赖部，与美国Reliance Electric and Engineering Co.共同投资成立Japan Reliance Co.，Ltd ..
1964年 七月 成立香港ULVAC有限公司，与香港制造有限公司合资成立。
1966年 四月 分离真空冶金事业部成立真空冶金有限公司
1968年 五月 总公司和横滨工厂搬迁到茅崎市。
1970年 七月 成立Sanwa ULVAC Sales Co.，Ltd。（商品名改为ULVAC East Japan Co.，Ltd。）为垄断经销商。
1971年 七月 真空机械有限公司（现为ULVAC Kiko Co.，Ltd。）是一家专业生产小型真空泵的企业。
1972年 七月 在千叶县成立新的超级材料研究实验室。
1975年 十二月 ULVAC北美公司（现为ULVAC Technologies，Inc。）在北美成立，作为出口到美国的基地。
1977年 一月 成立九州ULVAC INC。（现为ULVAC九州株式会社），扩大在九州地区的销售活动。
1979年 一月 分离服务部门，成立ULVAC服务有限公司 分离SI部门，成立ULVAC Film Deposition Co.，Ltd。
1981年 十月 与美国Helix Technology Corp.共同投资成立ULVAC·CRYO CO。，LTD。
1982年 一月 在台湾台北成立ULVAC TAIWAN Co.，Ltd。（现在·ULVAC TAIWAN INC。）。
1982年 十一月 ULVAC·Phi Co.，Ltd。与美国Perkin Elmer公司共同成立。
1982年 十二月 茨城县筑波科学城（现在筑波市）在市内设立筑波超级材料研究所。
1983年 二月 北京办事处在中国北京开业。
1985年 三月 我们为核聚变关键等离子体实验设备“JT-60”提供了真空泵系统。
1985年 四月 成立ULVAC SEIKI CO。，LTD作为关西的基地工厂。
1987年 一月 为了加强大型设备的生产系统，在青森县八户市建立了东北航空技术株式会社（现ULVAC东北株式会社）。
1987年 二月 在西德成立ULVAC GmbH，以加强欧洲的服务结构。
1987年 五月 成立ULVAC企业中心有限公司，为集团公司提供支持。
1987年 九月 英文公司名称改为ULVAC Japan，Ltd。
1988年 十月 九州真空技术有限公司在鹿儿岛成立，建立了真空泵的批量生产系统。
1990年 五月 为了加强半导体制造设备的生产系统，在静冈县Sus野市新设立富士Sus野工厂。
1991年 十二月 九州真空科技有限公司合并了ULVAC SEIKI Co.，Ltd。，更名为ULVAC SEIKIKI CO。，LTD。
1992年 四月 资本金从12.1亿日元增加到38.3亿日元。
1992年 六月 资本金增加至38.5亿日元。
1994年 十月 ULVAC服务有限公司合并ULVAC MATERIALS CO。，LTD。，更名为ULVAC Techno Co.，Ltd。
1995年 五月 在韩国首尔成立ULVAC KOREA，Ltd ..
1995年 九月 与宁波中国机械动力机械集团有限公司合资成立宁波爱知医用真空技术有限公司。
1996年 十一月 为了扩大真空设备的生产能力，东北航空技术株式会社，Ulvac Kyushu株式会社在鹿儿岛工厂增设了清洁工厂。
1998年 一月 新加坡CS中心，台湾新竹研发中心开业，以扩大亚洲的网络。
2000 四月 开设台北五星服务中心。
2000 八月 我们在ULVAC KOREA，Ltd。建立了平泽工厂作为生产工厂。
2001年 五月 在宁波爱知医用真空技术有限公司新建工厂
2001年 七月 公司名称改为ULVAC Co.，Ltd。（英文名称：ULVAC，Inc。）
2001年 十一月 加强客户支持ULVAC TAIWAN INC。成立桃园CIP工厂。
2002年 一月 成立ULVAC SINGAPORE PTE LTD以加强客户支持系统。
2002年 七月 ULVAC East Japan Co.，Ltd。合并了Takayama ULVAC CO。，LTD。，将公司名称更改为ULVAC EIS Co.，Ltd。（现为ULVAC Selling Co.，Ltd。）。
2002年 十二月 收购美国物理电子美国公司拥有的ULVAC·PHI Corporation股份（50％），并成为其全资子公司。
2003 三月 从美国RELIANCE ELECTRIC COMPANY收购Nippon Reliance Co.，Ltd。股份（31％），将其股份增加至81％。
2003 五月 Ulvac Tohoku Co.，Ltd.，ULVAC Techno Co.，Ltd.，UMAT Co.，Ltd。在东北建立了机械加工，表面处理，精密清洗一体化工厂。
2003 七月 成立了真爱科技（苏州）有限公司，作为中国的一家规模生产厂和一家CS解决方案工厂。
2003 八月 收购Litrex Corporation 50％的股份，Litrex Corporation生产和销售工业喷墨设备。
2004年 四月 在东京证券交易所第部上市的股票。
它将资本从38.5亿日元增加到81亿日元。
2004年 五月 它将资本从81亿日元增加到89.5亿日元。
2004年 七月 成立Ulvac Korea Precision，Ltd。，目的是由ULVAC KOREA，Ltd。和ULVAC Tohoku Co.，Ltd。在韩国共同制造大型基板真空部件。
成立Pure Surface Technology，Ltd。，与ULVAC KOREA，Ltd。和韩国真空冶金有限公司共同进行成膜设备零件的表面处理。
2004年 八月 成立日本倚有限公司，生产控制面板和自动控制驱动器与圣经电商人有限公司的合资企业，爱发科企动力科技销售（上海）有限公司在中国的目的。
2004年 十二月 资本金从85.5亿日元增加到134.68亿日元。
2005年 一月 成立ULVAC KIKO有限公司以及在与江苏宝骊集乐团，成立合资企业真空泵零部件的制造，爱为目的（靖江）有限公司在中国的发病家庭天马电机销售。
成立于与沉阳中北真空技术有限公司合资真空炉制造，爱Hatsuka中北真空（沉阳）有限公司出售在中国的目的（目前Aihatsuka真空技术（沉阳）有限公司）。
将成都东方爱知真空吸尘技术有限公司改为子公司，更名为AIST东宝真空（成都）有限公司。
2005年 四月 Vacuum Metallurgical Corporation合并了UMAT Co.，Ltd。，更名为ULVAC Materials Corporation。
为了扩大平板显示器业务，我们从富士通VS LSI转移了设备业务。
2005年 六月 为了增加ULVAC KOREA，Ltd。的产量，增加了Kanaya工厂。
ULVAC Kiko Co.，Ltd。在宫崎工厂建立了小型真空泵的评估和验证可靠性评估中心。
2005年 十一月 收购Litrex Corporation在英国剑桥显示技术有限公司拥有的股份（50％），并使其成为全资子公司。
成立ULVAC（THAILAND）LTD。在泰国销售和现场支持。
2005年 十二月 建立和ULVAC台湾制造公司这样的平板显示器制造装置的制造中，一个超净PRECISION科技股份有限公司向现场支持类似的部件的机械加工和部件清洗旨在台。
2006年 三月 成立爱知（中国）投资有限公司，以管理和监督中国子公司。
2006年 四月 在台湾成立ULVAC AUTOMATION TAIWAN Inc.，用于制造控制面板等。
2006年 七月 成立ULVAC研究中心KOREA，Ltd。，在韩国进行研发。
在台湾成立ULVAC研究中心TAIWAN，Inc。进行研发。
2006年 八月 收购Sigma Technos Co.，Ltd。的股份（70％），该公司生产和销售精密平台。
成立ULVAC MALAYSIA SDN.BHD。用于马来西亚的销售和现场支持。
2006年 九月 新成立的ULVAC TECHNO CORPORATION神奈川县神崎市真空设备零件表面处理化学中心。
Miyazaki Kiko Co.，Ltd。宫崎工厂被添加到宫崎县埼玉市，旨在巩固小型真空泵的生产。
2006年 十一月 爱知县爱知工厂在春日井市新成立，以扩大平板显示器制造设备的生产能力。
2007年 六月 成立ULVAC，Inc。印度分公司。扩大印度业务。
2007年 九月 成立Sigma Technos Co.，Ltd。总部工厂，在埼玉县日高市制造和销售大型精密工作台。
2007年 十一月 箕电商人有限公司，爱Hatsuka箕电科技（上海）有限公司因转让控股有限公司Aihatsuka自动化科技（上海）公司名称变更为股份有限公司。

PST-400CX2/日本ulvac爱发科/ 真空泵 /溅射离子泵/SMT设备/PST-400AX2